2020年中船重工七一八所四種高純電子氣體材料產(chǎn)能將居世界第一

本報(bào)訊5月18日，記者從中船重工七一八所特種氣體產(chǎn)品推介會(huì)暨一期項(xiàng)目投產(chǎn)、二期項(xiàng)目開(kāi)工儀式上了解到，該項(xiàng)目總投資32億元，2017年4月開(kāi)工建設(shè)。2020年全部達(dá)產(chǎn)達(dá)效后，將年產(chǎn)高純特種氣體2萬(wàn)噸左右，年產(chǎn)值將突破45億元，三氟化氮、六氟化鎢、六氟丁二烯和三氟甲基磺酸四種產(chǎn)品產(chǎn)能將居世界第一。

高純特種氣體是半導(dǎo)體發(fā)光元器件產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體高端存儲(chǔ)處理芯片等高端新興行業(yè)所急需的原材料，對(duì)打破美日壟斷，提升我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的核心科技水平和競(jìng)爭(zhēng)能力具有重要意義。

據(jù)介紹，七一八所有50多年從事氣體相關(guān)產(chǎn)業(yè)的研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。為打破國(guó)外廠商高純電子氣體在半導(dǎo)體領(lǐng)域的壟斷，他們積極跟蹤國(guó)際氟化工前沿技術(shù)，加大探索新技術(shù)研發(fā)新產(chǎn)品的步伐，先后開(kāi)展六氟化鎢、高純氘氣、三氟甲磺酸系列產(chǎn)品等20多種高純特種氣體的研發(fā)工作，陸續(xù)投資1億多元，自主開(kāi)發(fā)出六氟化鎢、氘氣、三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐等新產(chǎn)品，并申請(qǐng)專利34項(xiàng)，獲得授權(quán)18項(xiàng)。目前所有這些產(chǎn)品涉及關(guān)鍵核心技術(shù)40余項(xiàng)，均處于國(guó)際先進(jìn)水平。據(jù)了解，目前，七一八所三氟化氮國(guó)內(nèi)市場(chǎng)覆蓋率達(dá)到95%以上，國(guó)際市場(chǎng)覆蓋率達(dá)到30%;六氟化鎢國(guó)內(nèi)市場(chǎng)覆蓋率達(dá)到100%，國(guó)際市場(chǎng)覆蓋率達(dá)到40%。

作為國(guó)家“02專項(xiàng)”氣體組項(xiàng)目的牽頭單位，七一八所已經(jīng)成功研制出四氟化硅、六氟乙烷、八氟丙烷、八氟環(huán)丁烷、氯化氫、氟化氫等9種高純氣體及10種混合氣體并成功進(jìn)行了產(chǎn)業(yè)化，相關(guān)產(chǎn)品得到了中芯國(guó)際等半導(dǎo)體龍頭企業(yè)的測(cè)試認(rèn)證。

會(huì)上，聯(lián)華電子股份有限公司、京東方科技集團(tuán)股份有限公司、華潤(rùn)微電子有限公司等客戶代表做了發(fā)言。臺(tái)積電、京東方、中芯國(guó)際、華星光電、三星、東芝等60多家半導(dǎo)體廠商代表參加會(huì)議。與會(huì)代表還參加了特氣項(xiàng)目產(chǎn)業(yè)發(fā)展研討對(duì)接會(huì)，就進(jìn)一步開(kāi)展合作、推進(jìn)特種氣體及半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展進(jìn)行了深入交流探討。